臺(tái)式掃描電鏡是在加速高壓作用下將電子槍發(fā)射的電子經(jīng)過多級(jí)電磁透鏡匯集成細(xì)小的電子束。在末級(jí)透鏡上方掃描線圈的作用下，使電子束在試樣表面做光柵掃描（行掃+幀掃）。入射電子與試樣相互作用會(huì)產(chǎn)生二次電子、背散射電子、X射線等各種信息。這些信息的二維強(qiáng)度分布隨著試樣表面的特征而變，將各種探測(cè)器收集到的信息按順序、成比率地轉(zhuǎn)換成視頻信號(hào)，再傳送到同步掃描的顯像管并調(diào)制其亮度，就可得到一個(gè)反應(yīng)試樣表面狀況的掃描圖像。如果將探測(cè)器接收到的信號(hào)進(jìn)行數(shù)字化處理即轉(zhuǎn)變成數(shù)字信號(hào)，就可以由計(jì)算機(jī)做進(jìn)一步的處理和存儲(chǔ)。
臺(tái)式掃描電鏡的主要應(yīng)用領(lǐng)域講解：
1.掃描電鏡在材料和冶金行業(yè)中的應(yīng)用
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡采用場(chǎng)致發(fā)射電子槍代替普通鎢燈絲電子槍，可得到很高的二次電子像分辨率。采用場(chǎng)發(fā)射電子槍需要很高的真空度，在高真空度下由于電子束的散射更小，其分辨率進(jìn)一步得到提高。同時(shí)，采用磁懸浮技術(shù)，噪音振動(dòng)大為降低，燈絲壽命也有增加。場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的特點(diǎn)是二次電子像分辨率很高，如果采用低加速電壓技術(shù)，在TV狀態(tài)下背散射電子（BSE）成像良好，對(duì)于未噴涂非導(dǎo)電樣品也可得到高倍像。所以，場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡對(duì)半導(dǎo)體器件、精密陶瓷材料、氧化物材料等的發(fā)展起到很大作用。
2.掃描電鏡在新型陶瓷材料顯微分析中的應(yīng)用
在陶瓷的制備過程中，原始材料及其制品的顯微形貌、孔隙大小、晶界和團(tuán)聚程度等將決定其后的性能。掃描電子顯微鏡可以清楚地反映和記錄這些微觀特征，是觀察分析樣品微觀結(jié)構(gòu)方便、易行的有效方法，樣品無需制備，只需直接放入樣品室內(nèi)即可放大觀察;同時(shí)掃描電子顯微鏡可以實(shí)現(xiàn)試樣從低倍到高倍的定位分析，在樣品室中的試樣不僅可以沿三維空間移動(dòng)，還能夠根據(jù)觀察需要進(jìn)行空間轉(zhuǎn)動(dòng)，以利于使用者對(duì)感興趣的部位進(jìn)行連續(xù)、系統(tǒng)的觀察分析。掃描電鏡拍出的圖像真實(shí)、清晰，并富有立體感，在新型陶瓷材料的三維顯微組織形態(tài)的觀察研究方面獲得了廣泛地應(yīng)用。
3.掃描電子顯徽鏡在地質(zhì)工作中的應(yīng)用
掃描電鏡主要通過對(duì)微體古生物、巖石、礦物的形態(tài)和結(jié)構(gòu)構(gòu)造特征的研究，巖石、礦物的元素組成、變化規(guī)律及其賦存狀態(tài)的研究，解決地質(zhì)科研和生產(chǎn)中的各種問題。它直接或間接應(yīng)用于古生物學(xué)(主要是微體古生物)、礦物學(xué)、巖石學(xué)、隕石學(xué)、礦床學(xué)、構(gòu)造地質(zhì)學(xué)、礦床綜合評(píng)價(jià)和礦產(chǎn)綜合利用等方面的研究。
4.掃描電鏡在醫(yī)學(xué)和生物學(xué)中的應(yīng)用
隨著掃描電鏡分辨力溝不斷提高和樣品制備技術(shù)的逐步改善，它在醫(yī)學(xué)生物學(xué)的研究中發(fā)揮了巨大乍用，具有重要約實(shí)用價(jià)值。特別是近年來，由于冷凍割斷法、化學(xué)消化法以及樹脂鑄型法等新技術(shù)的創(chuàng)建，使人們?cè)趻呙桦婄R下可以直接觀察組織細(xì)胞內(nèi)部超微結(jié)構(gòu)的立體圖象，能夠顯示器官內(nèi)微血管和其他管道系統(tǒng)在組織內(nèi)的三維構(gòu)筑，為醫(yī)學(xué)生物學(xué)亞顯微領(lǐng)域的深入探討，提供了更為良好的條件。
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