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9-15
X射線衍射儀XRD是利用X射線在晶體物質(zhì)中的衍射效應(yīng)進(jìn)行物質(zhì)結(jié)構(gòu)分析的技術(shù)。每一種結(jié)晶物質(zhì),都有其特定的晶體結(jié)構(gòu),包括點(diǎn)陣類型、晶面間距等參數(shù),用具有足夠能量的X射線照射試樣,試樣中的物質(zhì)受激發(fā),會(huì)產(chǎn)生二次熒光X射線(標(biāo)識(shí)X射線),晶體的晶面反射遵循布拉格定律。通過(guò)測(cè)定衍射角位置(峰位)可以進(jìn)行化合物的定性分析,測(cè)定譜線的積分強(qiáng)度(峰強(qiáng)度)可以進(jìn)行定量分析,而測(cè)定譜線強(qiáng)度隨角度的變化關(guān)系可進(jìn)行晶粒的大小和形狀的檢測(cè)。X射線同無(wú)線電波、可見(jiàn)光、紫外線等一樣,本質(zhì)上都屬于電磁波,...
9-11
掃描電鏡主要由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)探測(cè)處理和顯示系統(tǒng)、圖像記錄系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、電源供給系統(tǒng)七大系統(tǒng)組成而成。利用掃描電鏡分析樣品時(shí),首先要排除外界的干擾去除假象,盡量減少這些不利因素的影響,使分析結(jié)果更準(zhǔn)確。制樣時(shí)產(chǎn)生的影響因素分析:1.樣品制備樣品的制備是能否得到重要信息的關(guān)鍵,若使用不正確的制樣程序,不僅會(huì)得不到清晰的圖像,而且有可能得到假象,即觀察到的圖像并不是真正的樣品內(nèi)部狀態(tài)或主要成分,所以試樣制備方法的選擇對(duì)于熱加工、熱處理等工藝問(wèn)題或后續(xù)加...
8-17
掃描電鏡是一個(gè)復(fù)雜的系統(tǒng),濃縮了電子光學(xué)技術(shù)、真空技術(shù)、精細(xì)機(jī)械結(jié)構(gòu)以及現(xiàn)代計(jì)算機(jī)控制技術(shù)。掃描電鏡的基本工作過(guò)程用電子束在樣品表面掃描,同時(shí)陰極射線管內(nèi)的電子束與樣品表面的電子束同步掃描,將電子束在樣品上激發(fā)的各種信號(hào)用探測(cè)器接收,并用它來(lái)調(diào)制顯像管中掃描電子束的強(qiáng)度,在陰極射線管的屏幕上就得到了相應(yīng)襯度的掃描電子顯微像。電子束在樣品表面掃描,與樣品發(fā)生各種不同的相互作用,產(chǎn)生不同信號(hào),獲得的相應(yīng)的顯微像的意義也不一樣。這些信息的二維強(qiáng)度分布隨試樣表面的特征而變(這些特征有...
8-13
掃描電鏡存在于我們的生活中,我們需要對(duì)它進(jìn)一步地了解,以便更好地利用它為人類創(chuàng)造價(jià)值。我們來(lái)看看掃描電鏡的幾大組成系統(tǒng)吧!1.真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個(gè)密封的柱形容器。真空泵用來(lái)在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。有機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵以及渦輪分子泵三大類,機(jī)械泵加油擴(kuò)散泵的組合可以滿足配置鎢槍的SEM的真空要求,但對(duì)于裝置了場(chǎng)致發(fā)射槍或六硼化鑭槍的SEM,則需要機(jī)械泵加渦輪分子泵的組合。成像系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的密封室,用于放...
7-13
掃描電子顯微鏡(SEM)是1965年發(fā)明的較現(xiàn)代的細(xì)胞生物學(xué)研究工具,主要是利用二次電子信號(hào)成像來(lái)觀察樣品的表面形態(tài),即用極狹窄的電子束去掃描樣品,通過(guò)電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng),其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。二次電子能夠產(chǎn)生樣品表面放大的形貌像,這個(gè)像是在樣品被掃描時(shí)按時(shí)序建立起來(lái)的,即使用逐點(diǎn)成像的方法獲得放大像。掃描電鏡(SEM)是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)是,①有較高的放大倍...
7-13
從理論上講,只考慮電子束斑直徑的話,加速電壓越高電子束斑的直徑越細(xì)。但是,使用高加速電壓時(shí)產(chǎn)生的不利因素也不可忽視。這主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:1)樣品表面的微細(xì)結(jié)構(gòu)不能清晰顯露;2)邊緣效應(yīng)明顯;3)容易積累電荷;4)容易損傷樣品。一般情況下,使用低加速電壓,能夠更好地觀察表面的微細(xì)結(jié)構(gòu)。使用高加速電壓,電子束在樣品中的擴(kuò)散區(qū)域增大,從樣品內(nèi)部產(chǎn)生的不必要的信號(hào)(如背散射電子)會(huì)掩蓋樣品表面的微結(jié)構(gòu)。特別是在觀察密度低的物質(zhì)時(shí),以低加速電壓為好。圖1入射電子的擴(kuò)展(根據(jù)Dun...
7-13
光學(xué)平臺(tái),光學(xué)隔震平臺(tái),氣浮隔震平臺(tái)具有先進(jìn)得隔振性能。光學(xué)平臺(tái)具有平整的表面,內(nèi)部采用蜂窩狀的設(shè)計(jì)以獲得大的剛度,另外內(nèi)部的阻尼機(jī)制大限度地減少了振動(dòng)對(duì)光學(xué)平臺(tái)表面的影響。剛性,被動(dòng)式和主動(dòng)式光學(xué)平臺(tái)能很好地把桌面從地面的振動(dòng)隔離出來(lái)。隨著先進(jìn)的設(shè)備和工藝的發(fā)展,使納米量級(jí)的測(cè)量成為可能。例如,變相光學(xué)干涉儀測(cè)量物體的表面粗糙度,目前可以達(dá)到1納米的分辨率。在半導(dǎo)體領(lǐng)域,已生產(chǎn)出線寬在亞微米量級(jí)的集成電路,提出測(cè)量準(zhǔn)確率小于50納米的精度要求。這樣的應(yīng)用對(duì)系統(tǒng)中不同元件相關(guān)...
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